SnO//2 함량이 ITO 박막의 미세조직과 전기적 광학적 특성에 미치는 영향 .

Title
SnO//2 함량이 ITO 박막의 미세조직과 전기적 광학적 특성에 미치는 영향 .
Authors
나종갑조영래박순자이택동
Keywords
투명전도성; ITO 박막; 스파터링; 홀효과; 후 열처리; 미세조직; 광학적 특성
Issue Date
1988-01
Publisher
한국물리학회지
Citation
v. 1, no. 3, 262-267
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/8717
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KIST Publication > Article
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