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양광주가 존재하지 않는 직류 전원 플라스마 증착 장치와 양광주를 배제한 상태에서의 물질 증착 방법 및 이에 의해 제조된 다이아몬드 박막

Author

이욱성; 채기웅; 정증현; 백영준

Assignee

한국과학기술연구원

Regitration Date

2012-12-18

Registration No.

8334027

Application Date

2007-08-03

Application No.

11/833679

Country

US

URI

https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/90226

Appears in Collections:

KIST Patent > 2007

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