압전성 PZT 박막과 표면 마이크로머쉬닝 공정을 이용한 마이크로 칸틸레버 빔의 제작 및 그 문제점

Title
압전성 PZT 박막과 표면 마이크로머쉬닝 공정을 이용한 마이크로 칸틸레버 빔의 제작 및 그 문제점
Authors
윤영수
Keywords
MEMS; cantilever beam; piezoelectricity; surface micromachining
Issue Date
1999-01
Publisher
1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움 논문집
Citation
VOL 1, NO 1, 25-33
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/9629
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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