DSpace at KISTKIST PublicationConference Paper

압전성 PZT 박막과 표면 마이크로머쉬닝 공정을 이용한 마이크로 칸틸레버 빔의 제작 및 그 문제점

Title
압전성 PZT 박막과 표면 마이크로머쉬닝 공정을 이용한 마이크로 칸틸레버 빔의 제작 및 그 문제점
Authors
윤영수
Keywords
MEMS; cantilever beam; piezoelectricity; surface micromachining
Issue Date
1999-01
Publisher
1999 제1회 대한전기학회 MEMS 심포지움 논문집
Citation
VOL 1, NO 1, 25-33
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/9629
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML
Show Full Item Record


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE