직접접합된 실리콘 기판쌍에 있어서 계면 산화막의 상태와 이의 새로운 평가방법 .

Title
직접접합된 실리콘 기판쌍에 있어서 계면 산화막의 상태와 이의 새로운 평가방법 .
Authors
주병권이윤희정회환정관수D. B. MurfettM. R. Haskard차균현오명환
Keywords
micromachining
Issue Date
1995-03
Publisher
전자공학회논문지 .
Citation
v. 32A, no. 3, 134-142
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/9637
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KIST Publication > Article
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