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Issue Date | Title | Author(s) |
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- | 질소이온 주입된 질화텅스텐박막의 구리배선용 확산방지막 특성 . | Kim Yong Tae; 권철순; 김동준; Min Suk-Ki |
2000-02-10 | 초고집적 기억소자 및 비기억소자를 위한WBxNy확산방지막 제조방법 및 그를 이용한 다층금속연결 배선방법 | 김동준; 김용태 |
- | (Undefined) | Kim Yong Tae; 김동준; 박종완; 권철순; Min Suk-Ki |