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Browsing byAuthor김동준

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2023-09-18다공성 박막을 이용한 메쉬형 분무 장치 및 이의 제조방법이병철; 강동현; 심신용; 성혜정; 박진수; 박기주; 김동준
-질소이온 주입된 질화텅스텐박막의 구리배선용 확산방지막 특성 .Kim Yong Tae; 권철순; 김동준; Min Suk-Ki
2000-02-10초고집적　기억소자　및　비기억소자를　위한WBxNy확산방지막　제조방법　및　 그를　이용한　다층금속연결　배선방법김동준; 김용태
-(Undefined)Kim Yong Tae; 김동준; 박종완; 권철순; Min Suk-Ki
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