Browsing byAuthor민석기

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1992-01저압 MOCVD 에 의한 GaAs 에피층의 Carbon 도핑특성 .김용; 김성일; 민석기; 엄경숙; 김무성; 곽병현; 마동성
1997-03전자선 리소그라피법에 의한 동일평면게이크 트랜지스터의 제작과 특성 연구 .김은규; 민석기; 김광무; 한철구; 정석구; 박종윤; 박종호
1977-07-25전자시계용 케이스민석기
1977-07-25전자시계용 케이스민석기
1977-07-25전자시계용 케이스민석기
2000-08-03전자싸이크로트론 공명 플라즈마에서 활성이온 및 활성분자(또는 활성원 자)생성율 제어방법박용주; 민석기; 김은규
1998-03-20주기율표III-V족 화합물 반도체의 건식 에칭방법민석기; 김은규
2001-01-11질소플라즈마를 이용한 선택적 금속 박막 증착방법 및 그를 이용한 다층금속 연결배선 방법민석기; 곽성관; 김영석; 김은규
1998-11-13축방향자기장을 인가할 수 있는 수직온도 구배냉각 및 수직브릿지만 화합물 반도체 단결정 성장장치박용주; 민석기
1998-06-23축방향자기장을 인가할 수 있는 수직온도 구배냉각 및 수직브릿지만 화합물 반도체 단결정 성장장치박용주; 민석기
1999-03-12축방향자기장을 인가할 수 있는 수직온도 구배냉각 및 수직브릿지만 화합물 반도체 단결정 성장장치박용주; 민석기
1988-01텅스텐 할로겐 램프에 의한 절연층상의 실리콘박막급속열처리 .김용태; 민석기; 김춘근
1993-10-06텅스텐 박막제조용 플라즈마 화학증착온도 측정장치김용태; 민석기
1993-08-03텅스텐 박막제조용 플라즈마 화학증착온도 측정장치김용태; 민석기
1995-09-20텡스텐 질화박막을 베리어 메탈로 이용한 실리콘 반도체 소자의 알루미늄금속배선 형성 방법김용태; 민석기
2000-10-26패턴된 기판을 이용한 양자세선 제작방법김성일; 박영균; 민석기; 김용; 김은규; 손창식
1991-01플라즈마 Silane 환원반응에 의한 텅스텐박막의 증착 .김용태; 민석기; 홍종성; 홍치유
1990-10플라즈마 화학증착 텅스텐박막의 증착온도에 따른 비저항 및 결정구조의 변화 .김용태; 홍종성; 홍치유; 민석기
1991-01플라즈마화학증착 텅스텐박막의 특성에 미치는 H//2/WF//6 입력비의 역활 .김용태; 민석기; 홍종성; 강태원; 홍치유
1995-01-20플라즈마 화학중착법에 의한 텅스텐 박막 증착방법김용태; 민석기
1995-06-28플라즈마 화학증착법을 이용한 갈륨비소 반도체소자의 쇼트키접합 및 금속배선용 텅스텐박막 형성방법김용태; 민석기
1995-01홀로그래픽 리소그래픽 시스템의 제작 및 미세구조 형성 연구 .박경현; 김태근; 박정호; 김무성; 민석기; 이주희
1997-08-26화학증착장치용 히터민석기; 김용; 김성일; 김무성
1997-07-15화학증착장치용 히터민석기; 김용; 김성일; 김무성

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