1996-01 | Strain evolution and dopant activation in P-implanted metastable pseudomorphic Si(100)/Ge//0//.//1//2Si//0//.//8//8. | 송종한; D. Y. C. Lie; F. Eisen; M. A. Nicolet |
1992-01 | The effect of thermal spike on the ion irradiation induced grain growth | 채근화; 송종한; 주장헌; 우정주; 황정남; 오영제; 정형진 |
2018-12-21 | 가속기질량분석법용 자동화흑연화장치 | 송종한; 김준곤; 일랴드스 존; 채근화; 임원철; 유병용 |
2003-10-06 | 가스 클러스트 이온 가속기를 이용한나노 구조물 형성 방법 | 최원국; 송재훈; 송종한; 황정남; 정형진; 권순남 |
2007-10-04 | 격자 정합된 InGaAs/InGaAsP 다중 양자우물 구조의 광소자용 에피박막층과 그 제조방법 | 변영태; 김선호; 송종한 |
1996-04 | 고에너지 이온선을 이용한 분석기술 . | 김효배; 송종한; 김희중 |
2002-08-21 | 금속이온을 포함하는 플라즈마를 이용한 금속박막 형성방법 | 송종한; 김태곤; 양정수; 최원국; 황정남 |
2006-06 | 나노 표면 분석 기술 | 송종한; 안재평; 박경수; 이연희; 채근화 |
2008-09-22 | 다중 양자우물 구조의 집적광소자용 에피박막의 제조방법 | 변영태; 송종한; 박민철; 전영민 |
1999-05 | 동심원형 대칭 전기장 집속 방식을 응용한 자가 이온 보조 소스 제작 및 Cu 박막 증착 | 송재훈; 김기환; 이충만; 최성창; 송종한; 정형진; 최원국 |
2003-09-23 | 마흐젠더 간섭기형 전광 파장변환기의 전광 앤드 논리 연산방법 | 강병권; 송종한; 이석; 김재헌; 김선호; 전영민; 박윤호; 우덕하 |
2002-10-31 | 마흐젠더 간섭기형 전광 파장변환기의 전광 앤드 논리 연산방법 | 강병권; 송종한; 이석; 김재헌; 김선호; 전영민; 박윤호; 우덕하 |
2016-05-26 | 미세입자 분말 미량 무게 측정 주입 장치 | 송종한; 김준곤; 채근화; 임원철; 존일랴드스; 유병용; 이기수 |
2002-04-30 | 박막전지를 위한 전해질용 리튬인산 염 스퍼터링 타겟 제조방법 | 윤영수; 조병원; 전은정; 조원일; 신영화; 송종한; 남상철 |
2003-10-14 | 산화아연 산화물 반도체 박막 제조방법 | 최원국; 정형진; 송종한 |
2010-09 | 상온에서 연속 조성 확산법에 의해 증착된 Ta2O5-SiO2 유전특성 | 김윤회; 정근; 윤석진; 송종한; 박경봉; 최지원 |
2007-04-27 | 상온에서의 강자성 산화아연 반도체 박막 제작 방법 | 최원국; 송종한; 박흥천; 최지원 |
2002-06-27 | 상온에서 작동하는 자외선 수광, 발광소자용 ZnO박막의 제조방법 및 그를 위한 장치 | 최원국; 정형진; 송종한; 윤영수; 김경국 |
2002-03-19 | 상온에서 작동하는 자외선 수광, 발광소자용 ZnO박막의 제조방법 및 그를 위한 장치 | 최원국; 정형진; 송종한; 윤영수; 김경국 |
2006-02 | 수소 및 비소 이온 조사에 의한 InGaAsP-InP 양자우물 구조의 청색이동 | 이종한; 최인훈; 신상원; 황정남; 변영태; 최경선; 김태곤; 송종한 |
1997-08 | 실리콘 기판 위에 UHV-ICB 증착법으로 적층 성장된 Y2O3 박막의 BS/channeling 연구 | 김효배; 조만호; 황보상우; 최성창; 최원국; 오정아; 송종한; 황정남 |
2017-04-24 | 실리콘 태양전지 광포집을 위한 저비용 나노구조 제조공정 | 김인호; 김원목; 김준곤; 송종한; 최준희; 이택성; 이경석; 이욱성; 정두석 |
2002-12-14 | 오믹 접촉 형성을 이용한 산화아연 산화물 반도체의 발광다이오드 및 레이저 다이오드용 금속박막 제조방법 | 최원국; 정형진; 송종한 |
2002-10 | 이온 조사된 Cu/Ni/Cu(001)/Si 자성박막에 있어서 X-ray reflectivity를 이용한 계면 연구 | 김태곤; 송종한; 이택휘; 채근화; 황현미; 전기영; 이재용; 정광호; 황정남; 이준식; 이기봉 |
2006-01 | 이온빔 나노 패터닝을 위한 양극산화 알루미나의 이온빔 투과 | 신상원; 이종한; 이성구; 이재용; 황정남; 최인훈; 이관희; 정원용; 문현찬; 김태곤; 송종한 |
2003-02-27 | 이온주입에 의한 고전압 쇼트키 다이오드 제조방법 | 송종한; 이석; 최원국; 윤영수; 임성일 |
2006-06 | 집적 다파장 레이저 제조를 위한 밴드갭 Engineering 기술 | 변영태; 송종한 |
2018-12-26 | 초박형 반도체 웨이퍼의 제조 방법, 그로부터 제조된 초박형 반도체 웨이퍼와 이를 포함하는 태양 전지, 그리고, 전술한 방법의 모든 단계를 포함하는 태양 전지 셀 제조 방법 및 이에 따라 제조된 태양 전지 셀 | 김인호; 김준곤; 송종한; 김원목; 이현승; 정두석; 박종극; 이도권; 이택성 |
2015-12-02 | 초박형 실리콘 기반 태양전지를 위한 나노구조 및 제조 방법 | 김원목; 김인호; 김준곤; 정두석; 이경석; 이욱성; 이택성; 송종한 |
2017-11-07 | 초박형 실리콘 태양전지 제조 방법 | 김인호; 김원목; 정두석; 김준곤; 송종한; 이택성 |