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Browsing byAuthor김재민

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Issue DateTitleAuthor(s)
2002-11Fabrication of 3-Dimensional Microstructures for Bulk Micromachining by SDB and Electrachemical Etch-Stop정귀상; 김재민; 윤석진
2004-05적층형 세라믹 엑추에이터를 이용한 MEMS용 압전밸브의 제작 및 특성정귀상; 윤석진; 김재민
2004-06적층형 압전밸브의 설계, 제작 및 특성정귀상; 김재민; 윤석진; 정순종; 송재성
2003-11파이렉스 #7740 유리박막을 이용한 MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성정귀상; 김재민; 윤석진
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