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Browsing byAuthor이석주

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Issue DateTitleAuthor(s)
2000-02A prediction method of temperature distribution on the wafer in a rapid thermal process system with multipoint sensing심영렬; 이석주; 민병조; 조영조; 김학배
2005-01-04다배율　영상을　이용한　초소형　부품　조립　방법　및　장치김경환; 김덕호; 이석주; 박귀태
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