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2011-08-02고체 원소 플라즈마 이온주입 방법 및 장치한승희; 변지영; 석현광; 신상범; 김유찬; 이성배; 최진영; 한준현
2015-09-22고체 원소 플라즈마 이온주입 방법 및 장치한승희; 변지영; 석현광; 신상범; 김유찬; 이성배; 최진영; 한준현
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