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Browsing bySubjecte-beam lithography

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2004-07-01Fabrication and characterization of metal-semiconductor field-effect-transistor-type quantum devicesSon, SH; Cho, KH; Hwang, SW; Kim, KM; Park, YJ; Yu, YS; Ahn, D
2005-03Fabrication of a nanosized current-driven spin valve device using proximity correction in electron-beam lithographyYi, HJ; Nguyen, THY; Chang, JY; Shin, KH
2007-11-05Guided formation of a sub-10 nm silicide dot array on an area patterned by electron-beam lithographyWi, Jung-Sub; Lee, Tae-Yon; Kim, Hyun-Mi; Lee, Hyo-Sung; Nam, Sung-Wook; Shin, Il Jae; Shin, Kyung Ho; Kim, Ki-Bum
2003-08단일 공정에 의한 고효율 단일모드 반도체 레이저 구조 제작을 위한 고밀도 양자 나노구조 형성손창식; 백종협; 김성일; 박용주; 김용태; 최훈상; 최인훈
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