강종윤 윤석진 도영호 백승협 최지원 송현철 김진상 2024-01-12T23:00:07Z 2024-01-12T23:00:07Z 2014-09-09 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/98631 레이저 리프트 오프 방법을 이용한 산화물 박막 평면 소자의 제조 방법 Patent 2014-09-09 2012-12-13 8828845 13/713396 US 특허 한국과학기술연구원