하승규 김수연 송진동 최원준 한일기 2024-01-12T23:00:19Z 2024-01-12T23:00:19Z 2014-11-25 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/98645 희생적 식각 마스크를 이용한 나노 구조물 제조방법 Patent 2014-11-25 2012-11-05 8895412 13/668526 US 특허 한국과학기술연구원