문성욱 추성일 이승훈 2024-01-12T23:03:27Z 2024-01-12T23:03:27Z 2010-08-30 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/98874 프로브 구조물 및 그 제조방법 Patent 2010-08-30 2008-01-02 0980002 2008-0000144 KO 특허 한국과학기술연구원