이욱성 백영준 정증현 황규원 박종극 2024-01-12T23:03:43Z 2024-01-12T23:03:43Z 2009-05-19 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/98892 플라스마 증착장치 및 방법 Patent 2009-05-19 2007-11-15 10-0899355 1020070116932 KO 특허 한국과학기술연구원