석현광 백경호 이해원 2024-01-12T23:30:19Z 2024-01-12T23:30:19Z 2010-01-21 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/99213 반도체 제조 장비용 열용사 코팅물질, 그 제조방법 및 코팅방법 Patent 2010-01-21 2007-06-20 10-0939256 10-2007-0060758 KO 특허 한국과학기술연구원