김광호 전재학 송귀은 이윤표 2024-01-12T23:32:04Z 2024-01-12T23:32:04Z 2005-10-20 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/99337 이중 박막을 갖는 마이크로 시스템용 발전기 Patent 2005-10-20 2003-10-30 10-0524343 2003-0076274 KO 특허 한국과학기술연구원