이중기 조병원 박달근 최용락 우주만 2024-01-12T23:32:36Z 2024-01-12T23:32:36Z 2005-03-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/99377 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마와 펄스형 직류 바이어스결합형 상온 화학 증착 시스템 및 이를 이용한 금속복합막 제조방법 Patent 2005-03-29 2002-06-20 481685 2002-0034635 KO 특허 한국과학기술연구원