석현광 이재철 이호인 변지영 윤진국 2024-01-12T23:33:14Z 2024-01-12T23:33:14Z 2004-10-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/99423 반도체 소자용 박스형 구조재용 Si-Al 합금의 제조방법 Patent 2004-10-08 2001-11-01 0453518 2001-0067891 KO 특허 한국과학기술연구원