윤영수 조병원 전은정 조원일 신영화 송종한 남상철 2024-01-13T00:03:54Z 2024-01-13T00:03:54Z 2002-04-30 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/100031 박막전지를　위한　전해질용　리튬인산 염　스퍼터링　타겟　제조방법 Patent 2002-04-30 2000-07-19 336407 00-41408 KO 특허 한국과학기술연구원