Kim Tae Ha Myung-Suk Chun Kangtaek Lee 2024-01-13T03:30:48Z 2024-01-13T03:30:48Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/101938 English MEMS Fabrication Microchip Electrophoresis Microchannel Optical Slit DRIE MEMS Fabrication of Microchannel with Poly-Silicon Layer and Application to Microchip Electrophoresis 다결정 실리콘 층이 형성된 마이크로 채널의 MEMS 가공 제작과 마이크로 칩 전기영동에의 응용 Conference 2 제9회 한국 MEMS 학술대회, v.9, pp.598 - 601 제9회 한국 MEMS 학술대회 9 598 601 KO