SeungHun LEE Chu sung il Kim, Jin Hyeck Seo Ho Won Dong-Chul Han Moon, Sung Wook 2024-01-13T06:04:00Z 2024-01-13T06:04:00Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/103507 English MEMS Probe card Electro-plating FEM Micro-spring Area array Reliable design and characterization of MEMS probe tip 신뢰성을 갖는 MEMS 프로브 팁의 설계 및 특성평가 Conference 2 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 KO