Kim Moo Hyun Lee, Byung Chul C. Jegatha Kim Sang Kyung Shin, Hyun Joon Kim, Jung Sik Moon, Sung Wook 2024-01-13T06:31:31Z 2024-01-13T06:31:31Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/103593 English 무전해도금 선택적 습식식각 나노에칭 공정 MEMS NEMS electroless plating selective wet etching etching process Large area 3D nanoscale metal etching process 대면적 3D 나노스케일 금속 에칭 방법 Conference 2 제 9회 한국 MEMS 학술대회 논문집(2007년 4월 5-7일), pp.642 - 645 제 9회 한국 MEMS 학술대회 논문집(2007년 4월 5-7일) 642 645 KO