Jang Hee-Yeon Jeung-hyun Jeong JONG-KEUK, PARK Dae-Soon Lim 2024-01-13T07:03:06Z 2024-01-13T07:03:06Z 2021-09-29 2006-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/103981 BN cBN content oxygen content stress 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 합성한 입방정 BN 박막의 기계적 성질에 미치는 O2 첨가의 영향 Conference 2 대한금속,재료학회 추계학술대회 대한금속,재료학회 추계학술대회 KO