Kim Tae Ha Lee Intaek Myung-Suk Chun Lee Kangtaek 2024-01-13T07:03:09Z 2024-01-13T07:03:09Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/103984 English MEMS Fabrication Microchip Electrophoresis Quartz Glass Poly-Silicon Etching MEMS Fabrication of Microchannel with Poly-Si Layer for Application to Microchip Electrophoresis 마이크로 칩 전기영동에 응용하기 위한 다결정 실리콘 층이 형성된 마이크로 채널의 MEMS 가공 제작 Conference 2 한국화학공학회 추계 한국화학공학회 추계 KO