Ko, Hyun Chang Yeo, Yeong-Koo LEE, HWA UNG Song, Hyung Keun 2024-01-13T07:03:51Z 2024-01-13T07:03:51Z 2021-09-29 2006-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104033 RF 마이크로플라즈마 카본 증착 RF 마이크로플라즈마를 이용한 카본의 증착 및 형태변화에 관한 고찰 Conference 2 한국화학공학회 춘계학술대회 한국화학공학회 춘계학술대회 KO