JONG-KEUK, PARK Baik, Young Joon 2024-01-13T07:30:42Z 2024-01-13T07:30:42Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104068 English Hardness and thermal stbility of c-TiAlN/a-Si3N4 nanoscale multilayered film 결정질-TiAlN/비정질-Si3N4 나노 다층막의 경도 및 열적 안정성 Conference 2 2006년도 한국표면공학회 춘계 학술발표회 2006년도 한국표면공학회 춘계 학술발표회 KO