KIM NA-RI Kim, Jae Soo 변동진 이재훈 노대호 진정근 2024-01-13T08:30:51Z 2024-01-13T08:30:51Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104612 English Growth and characterizaton of SiC film using single precursors 단일 전구체를 이용한 SiC 박막의 성장과 특성평가 Conference 2 2004년 추계 세라믹학회, pp.137 2004년 추계 세라믹학회 137 137 KO