KIM NA-RI 변동진 진정근 노대호 Kim, Jae Soo 이재훈 2024-01-13T08:30:54Z 2024-01-13T08:30:54Z 2021-09-29 2004-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104615 단일전구체를 이용한 SiC 박막의 성장 Conference 2 2004년 금속재료학회 추계학술대회, pp.76 - 77 2004년 금속재료학회 추계학술대회 76 77 KO