SON JUN HYUK SeungHun LEE Cheung Il Jin KIM HYUNG WON Kim, Kwang Ho Shim, Jae Wan Shin, Hyun Joon Sung-Woo Hwang Moon, Sung Wook 2024-01-13T08:31:21Z 2024-01-13T08:31:21Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104645 English Improvement of linearity and Resolution in Capacitive Micro Tilt Sensor by Using Modified Comb Finger Shape 콤 모양의 개선에 의한 정전형 마이크로 틸트센서의 선형성과 해상도 향상 Conference 2 제7회 한국 MEMS 학술 대회 초록집 제7회 한국 MEMS 학술 대회 초록집 KO