KIM NA-RI Kim, Jae Soo 노대호 이재훈 Ahn myoung-won 변동진 2024-01-13T08:31:42Z 2024-01-13T08:31:42Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104668 English Tetramethylsilane SiC film Characteristics of SiC film using Tetramethylsilane Tetramethylsilane에 의한 SiC 박막의 특성평가 Conference 2 2005년도 한국재료학회 추계학술대회, pp.275 2005년도 한국재료학회 추계학술대회 275 275 KO