KIM NA-RI 변동진 노대호 양재웅 Ahn myoung-won 이재훈 Kim, Jae Soo 2024-01-13T08:31:49Z 2024-01-13T08:31:49Z 2021-09-29 2005-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104676 Tetramethylsilane SiC film CVD Tetramethylsilane을 이용한 SiC 박막의 성장 Conference 2 2005년 대한금속재료학회 추계학술대회, pp.124 2005년 대한금속재료학회 추계학술대회 124 124 KO