PARK JONG KOOK Kim, Sun Ho Jin Woo Park Byun, Young Tae 2024-01-13T08:33:44Z 2024-01-13T08:33:44Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104810 English 연마 GaAs/Si3N4/SiO2/Si 웨이퍼의 접합력 Depending on Polishing Conditions of GaAs/Si3N4/SiO2/Si Wafers to Compare with Bonding Forces 연마 조건에 따른 GaAs/Si3N4/SiO2/Si 웨이퍼의 접합력 비교 Conference 2 한국광학회 2005년도 하계학술발표회, pp.46 - 47 한국광학회 2005년도 하계학술발표회 46 47 KO