PARK JONG KOOK Kim, Sun Ho Jin Woo Park Byun, Young Tae 2024-01-13T08:33:50Z 2024-01-13T08:33:50Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104817 English 반도체 광소자 GaAs/SiNx/SiO2/Si 웨이퍼 직접 접합 Optimized Condition for Direct Wafer Bonding of GaAs/SiNx/SiO2/Si for Hybrid Semiconductor Optical Devices 반도체 광소자 제작을 위한 GaAs/SiNx/SiO2/Si 웨이퍼 직접 접합의 최적화 Conference 2 제 12회 광전자 및 광통신 학술회의(COOC 2005), pp.7 - 8 제 12회 광전자 및 광통신 학술회의(COOC 2005) 7 8 KO