PARK JONG KOOK Kim, Sun Ho Jin Woo Park Byun, Young Tae 2024-01-13T08:33:51Z 2024-01-13T08:33:51Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/104818 English GaAs/SiO2/Si 웨이퍼 SiO2 박막 형성 웨이퍼 직접 접합 Study on Deposited Films of SiO2 and Direct Wafer Bonding to Fabricate GaAs/SiO2/Si Wafers GaAs/SiO2/Si 웨이퍼 제작을 위한 SiO2 박막 형성과 웨이퍼 직접 접합에 관한 연구 Conference 2 한국광학회 제16회 정기총회 및 2005년도 동계학술발표회, pp.170 - 171 한국광학회 제16회 정기총회 및 2005년도 동계학술발표회 170 171 KO