김형권 Byun Young Tae KIM TAE GON Kim Sun Ho 한상국 2024-01-13T11:03:57Z 2024-01-13T11:03:57Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106144 English SOI 제작 수소 이온 주입 TRIM 시뮬레이터 RBS channeling spectrum Characteristics of hydrogen ion implantation for SOI fabrication SOI 제작을 위한 수소 이온 주입 특성 Conference 2 한국광학회 2003 년도 하계학술발표회, pp.230 - 231 한국광학회 2003 년도 하계학술발표회 230 231 KO