한용희 허재성 최인훈 KIM GEUN TAE Shin Hyun Joon 치엔 Moon Sung Wook 2024-01-13T11:31:38Z 2024-01-13T11:31:38Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106262 English 볼로미터 MEMS 비냉각 바나듐 옥사이드 V₂O5/V/V₂O5 based uncooled infrared detector by MEMS technology V₂O5/V/V₂O5 다층박막 및 MEMS 기술을 이용한 비냉각형 적외선 감지 소자의 제작 Conference 2 2003 한국재료학회 춘계학술대회 2003 한국재료학회 춘계학술대회 KO