KIM IN TAY 박윤권 이시형 이수현 LEE YUN HI Lee Jeon Kook 김남수 Ju Byeong Kwon 2024-01-13T12:32:07Z 2024-01-13T12:32:07Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106824 English FBAR piezoelectric surface micromachining Film bulk acoustic wave resonator using surface micromachining. 표면 마이크로머시닝을 이용한 압전 박막 공진기 제작 = Conference 2 한국전기전자재료학회 2002 년도 하계학술대회 논문집, v.3, no.1, pp.156 - 159 한국전기전자재료학회 2002 년도 하계학술대회 논문집 3 1 156 159 KO