KANG HO KWAN 채경수 Moon Sung Wook OH MYUNG HWAN 2024-01-13T12:32:16Z 2024-01-13T12:32:16Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106834 English MEMS Fabrication of high aspect ratio metallic structures for optical devices using UV-LIGA process. 광소자 응용을 위한 UV-LIGA 공정 기반의 MEMS 소자 제작 = Conference 2 전기전자재료학회 하계학술대회 논문집, v.v. 3, pp.1050 - 1053. 전기전자재료학회 하계학술대회 논문집 v. 3 1050 1053. KO