송재훈 CHOI DUCK KYUN CHOI WON-KOOK 2024-01-13T12:32:18Z 2024-01-13T12:32:18Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106836 English cluster ion impact gas cluster etching smoothing ITO Si Gas cluster ion source for etching and smoothing of solid surfaces. 고체 표면 식각 및 평탄화를 위한 가스 클러스터 이온원 개발 = Conference 2 한국전기전자재료학회 2002 년도 하계학술대회 논문집, pp.232 - 234. 한국전기전자재료학회 2002 년도 하계학술대회 논문집 232 234. KO