김종용 채경수 정대석 김태엽 Moon Sung Wook 이종철 2024-01-13T12:34:22Z 2024-01-13T12:34:22Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106966 English MEMS UV-LIGA nickel optical switch Fabrication of high-aspect-ratio in-plane actuator using UV-LIGA process UV-LIGA 공정을 이용한 고형상비 In-plan 구동기의 제작 Conference 2 제4회 한국 MEMS 학술대회 초록집 = The 4th Korean MEMS Conference, pp.58 - 62 제4회 한국 MEMS 학술대회 초록집 = The 4th Korean MEMS Conference 58 62 KO