KIM IN TAY 박윤권 이시형 LEE YUN HI Lee Jeon Kook 김남수 Ju Byeong Kwon 2024-01-13T12:34:26Z 2024-01-13T12:34:26Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/106970 English FBAR piezoelectric SOI MMIC membrane Monolithic film bulk acoustic wave resonator using SOI wafer SOI 웨이퍼를 이용한 압전박막 공진기의 설계 및 제작 Conference 2 제 4 회 한국 MEMS 학술대회 초록집, pp.250 - 254 제 4 회 한국 MEMS 학술대회 초록집 250 254 KO