심현상 Kim Yong Tae 전형탁 2024-01-13T13:02:25Z 2024-01-13T13:02:25Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/107109 English 원자층증착 W-N확산방지막 초고집적소자 열적안정성 Characteristics of W-N diffusion barrier by atomic layer chemical vapor deposition Conference 2 제9회 한국반도체학술대회, pp.611 - 612 제9회 한국반도체학술대회 611 612 KO