노대호 Byun Dongjin Kim Jae Soo YOON JIN KOOK 진정근 lee jong kwon 2024-01-13T13:04:09Z 2024-01-13T13:04:09Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/107220 English 단일전구체 SiC epi-layer growth using single precursor 단일전구체를 사용한 SiC 박막의 성장 Conference 2 2002 년도 한국재료학회 추계학술발표강연 및 논문개요집, pp.100 2002 년도 한국재료학회 추계학술발표강연 및 논문개요집 100 100 KO