Ju Byeong Kwon 하주환 서상원 최승우 최우범 2024-01-13T13:34:10Z 2024-01-13T13:34:10Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/107488 English SOI Fabrication of MEMS devices using SOI(silicon-on-insulator)-micromachining technology SOI(silicon-on-insulator)-micromachining 기술을 이용한 MEMS 소자의 제작 Conference 2 전기전자재료학회 하계학술대회, pp.874 - 877 전기전자재료학회 하계학술대회 874 877 KO