조정희 HAN SEUNG HEE LEE YEON HEE 김옥경 김곤호 황현상 김영우 LIM HYUN EUI JUNG, HYE SUN 백성권 2024-01-13T15:04:28Z 2024-01-13T15:04:28Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/108278 English shallow junction PSII rapid thermal annealer Plasma source ion implantations for shallow junction Conference 2 제19회 한국진공학회 학술발표회, pp.49 제19회 한국진공학회 학술발표회 49 49 KO