HAN SUNG HAN 안창규 경제홍 CHO SEONG HOON 최승철 2024-01-13T15:32:29Z 2024-01-13T15:32:29Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/108427 English AIN MOCVD single precursor The synthesis of a suitable single precursor for AIN thin films AIN thin films을 위한 적합한 단일 전구체 합성 Conference 2 2000 년 춘계 마이크로전자페키징학회, pp.? 2000 년 춘계 마이크로전자페키징학회 ? KO