안창규 경제홍 CHO SEONG HOON HAN SUNG HAN 최승철 Je-Hong Kyoung 2024-01-13T15:32:53Z 2024-01-13T15:32:53Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/108451 English MOCVD single precursor AlN Single precursor MOCVD of AlN thin films & the stoichiometry controlling 단일전구체 MOCVD 방법을 통한 AlN 박막증착과 그 조성제어 Conference 2 2000 년도 한국재료학회 춘계 학술발표강연 및 논문개요집, pp.97 2000 년도 한국재료학회 춘계 학술발표강연 및 논문개요집 97 97 KO