김현호 이시형 Ju Byeong Kwon Lee Jeon Kook OH MYUNG HWAN KIM SOO WON 2024-01-13T15:34:43Z 2024-01-13T15:34:43Z 2021-09-29 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/108565 English thin film resonator TMAH surface micromachining Piezoelectric AIN A new type thin film bulk acoustic resonator(TFR) using surface micromachining technique 표면 마이크로머시닝 기술을 사용한 새로운 형태의 압전박막공진기 Conference 2 제2회 MEMS학술대회, pp.173 - 178 제2회 MEMS학술대회 173 178 KO